大家谁知道非晶硅薄膜如何晶化啊？急
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非晶硅晶化方法分为：传统的固相结晶法、激光晶化和金属诱导晶化三种； 传统的固相结晶法，就是非晶硅沉积后，高温热处理，温度大概600度以上； 激光晶化，就是非晶硅沉积后，利用激光照射非晶硅，促使其晶化； 金属诱导晶化，就是非晶硅沉积后，再在其上沉积一层金属，然后进行热处理，热处理温度较低，大概400度左右。 当前热门方法为金属诱导晶化，金属可以为AL、Ni等材质。
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