求问各位半导体 微电子 以及封装方面的大神!总是在书上看到层间电介质 (ILD)这个东西到底是什么啊?
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这是纯微电子的东西,跟PCB没半毛钱关系。 芯片上不同MOS管之间是靠金属或者多晶硅互联的,越是复杂的芯片,这个互连线越是不可能在一层之内布完,于是就有好几层互连线,不同层互连线之间就要有ILD来隔离并支撑。 任意两根导线之间都有电容,ILD介质介电常数比较高,导线比较宽,距离比较近的时候层间电容就有比较大影响。
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