什么是分子束外延？
分子束外延
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通过聚焦的电子束源产生的电磁场，使硅原子蒸发得到外延反应所需的硅反应原子；硅原子束离开硅源，通过排泄腔体，不碰撞并直接沉积在硅衬底表面形成外延层的过程。
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